系統(tǒng)由中央純水設備、純水系統(tǒng)管網(wǎng)、終端純水取水點、終端超純水設備組成，系統(tǒng)主機采用一備一用，可同時制水、不間斷供水，純水電導率≤5μS/cm(25℃)達到三級水水質標準，超純水電阻率≥18 M?.cm@25℃，達到高純水水質標準。